|
Productdetails:
|
Markeren: | corrosiebestendigheid E-Chuck,Hoogwaardige E-Chuck |
---|
Hoogwaardige E-Chuck-corrosiebestendigheid
Aanpassen dielektrische lagen materialen
Minder dan 0,1 seconden vastklem- en losklemtijd
Microstructuur (grot) grootte: 300 micron diameter minimum
Typische globale vlakheid:0.5-3mircon PV ((D=300mm)
Standaardspanning 1-3kv (mogelijk > 15kv)
Microstructuren (putjes) verminderen het contactoppervlak met een factor van 100 ((1% contactoppervlak)
Vermogen tot extractie
ESC-ontwerp volgens de eisen van de klant
Vervaardiging van nieuwe ESC volledig nieuwe ESC vervaardiging
Verbeter de verdiepingen 1,2 en 3.
Contactpersoon: Daniel
Tel.: 18003718225
Fax: 86-0371-6572-0196