Precieze keramische onderdelen halfgeleider wafer Chuck

Precieze keramische onderdelen halfgeleider wafer Chuck

De semiXicon-serie poreuze vacuümschokken zijn ontworpen voor het hanteren van dunne folies en andere flexibele werkstukken.De chuck heeft een gelijkmatig verdeelde poriegrootte om de gewenste zuigkracht en het vasthouden van zeer dunne films te garanderen.Het wordt veel toegepast in elektronische, halfgeleider, In de sectoren zonne-energie, medische en optische lasermicrofabricatie, enz.

We kunnen een ontwerp op maat maken voor uw toepassing om ze om te zetten in individuele werkstations of te integreren in uw productielijnen.

Keramisch materiaal: alumina, siliciumcarbide
Opening: 1~100 μm
Porositeit: 30%~60%
Buigsterkte: > 50 MPa
Bewerkingsnauwkeurigheid: ±0,003 mm, vlakheid 0,003 mm
Productkenmerken: slijtvastheid, hoge temperatuurbestandheid, hoge hardheid, corrosiebestandheid
Beschikbare kleuren: beige, zwart
Aanpassing: 6 inch, 8 inch

Toepassingen:

Halveringsapparatuur
Dunne film
Optische
Zonne
MEMS
Batterij
Biomedisch
- Wat is er?