industriële keramische scheer

Industriële keramische chuck

In de halfgeleiderindustrie zijn wafer thinning en dicing relatief volwassen geworden na jaren van ontwikkeling, en de apparatuur voor wafer thinning wordt ook steeds geavanceerder. Keramische chucks worden gebruikt als laadfixtures bij het verwerken van wafers. Het adsorptiegebied van de keramische chuck is gemaakt van microporeus keramiek dat doorlaatbaar is voor lucht en water, terwijl de buitenring van de keramische chuck is afgedicht met dicht, ondoordringbaar aluminiumoxide keramiek om een vacuüm te behouden, wat zorgt voor goede draag- en adsorptiecapaciteiten.

Kwaliteitscontrole: