AIN Keramische verwarming Technische keramische onderdelen Verbetering van het verwarmingssysteem Energiebesparing

AIN keramische verwarmer

Aluminiumnitride is een multifunctioneel materiaal dat het meest wordt gebruikt in scenario's die een hoge thermische geleidbaarheid en elektrische isolatie vereisen.Dit unieke vermogen maakt AIN een ideale keuze voor snel verwarmen en warmteverlies. zoals aluminium nitride keramische verwarmers, aluminium nitride keramische waferbakken/keramische chucktafel, enz.

Toepassing

halfgeleider: ESC, etch, CVD, polijstmachine;
Medische hulpmiddelen: verwarming en atomisering;
Andere: gebruikt in andere scenario's waarbij een snelle verwarmingssnelheid en een goede temperatuuruniformiteit vereist zijn.

Warmtegeleidbaarheid: 10 keer hoger dan bij aluminiumkeramiek. Snel verwarmen: 600°C binnen 6 seconden bij omgevingstemperatuur van 25°C. Met een goede temperatuuruniformiteit:het temperatuurverschil is binnen ±5.
Sterkte:Fexurale sterkte 310-350 MPa. Hardheid: HRA 89. Volumeweerstand: > 1013 O.cm.
Stabiliteit: het smeltpunt van aluminiumnitride-keramiek is 2450.C en het heeft een goede stabiliteit in hoge temperatuur niet-oxiderende atmosfeer binnen 2000.
Uitstekende dielektrische constante en laag dielektrisch verlies.